加工精度是加工質量的重要組成部分，它直接影響真空吸附輥的工作性能和使用壽命，隨著科學技術的發展，對加工精度的要求也越來越高，分析研究影響加工精度的因素及其規律，是機械制造工藝學的主要任務之一。

真空吸附輥加工精度是指零件加工后的實際幾何參數（尺寸、形狀和位置）與理想幾何參數的符合程度。在機械加工過程中，由于各種因素的影響，加工出來的零件不可能與理想的要求完全符合，總會產生一些偏差，這種偏差就是加工誤差。

另一方面，從產品使用性能出發，也沒有必要把零件加工得絕對準確，而可以允許有一定的加工誤差存在。所以，在真空吸附輥零件圖樣上對其尺寸、形狀和表面間的相互位置都以一定形式標注出能滿足零件使用性能的允許誤差范圍，這就是公差。

加工精度和加工誤差是從不同的角度來評定零件的幾何參數的，在實際生產中，都是用控制加工誤差來保證加工精度，加工誤差越小，加工精度越高，反之亦然。

隨著對真空吸附輥產品性能要求的不斷提高及現代加工技術的發展，對零件的加工精度要求也不斷提高，一般說來，零件的加工精度越高則加工成本也相應越高，生產率則相對越低。因此，設計人員應根據零件的使用要求，合理地規定零件的加工精度，工藝人員則應根據設計要求、生產條件等采取適當的工藝手段，保證零件的加工誤差不超過零件圖樣上規定的公差范圍，并在保證加工精度的前提下，盡量提高生產率和降低成本。

真空吸附輥的加工精度包含尺寸精度、形狀精度和位置精度。零件的尺寸精度主要通過試切法、調整法、定尺寸刀具法和自動控制法來獲得；形狀精度則由機床精度或刀具精度來保證；位置精度主要取決于機床精度、夾具精度和工件的安裝精度。

這三方面的精度既有區別，又有聯系，一般說來，形狀精度應高于尺寸精度，而位置精度在大多數情況下也應高于相應的尺寸精度。